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                管式爐選購建議及技巧

                發布時間:2019-07-06  瀏覽次數:3683

                 

                 

                1、根據溫度選擇管式爐

                A、選擇工作溫度時,請注意儀器所能保持的最高溫度(<1小時)和儀器能連續工作的溫度(安全、連續使用的溫度)。

                例如:諾巴迪NBD-T1700管式爐

                最高加熱溫度1700℃,連續工作溫度1600℃ ,如有不清楚的地方,請聯系諾巴迪銷售。

                 

                B、儀器使用的加熱元件限制了加熱爐的最大工作溫度,目前我公司加熱元件可分為四類:

                1)250 ~ 1250℃ 采用電阻絲加熱元件或紅外燈管加熱元件,最高加熱溫度1200℃,長時間使用1100℃,采用K型熱電偶測溫(如果客戶需要也可更換為S熱偶)。

                例如:諾巴迪NBD-01200-50IT



                2)1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加熱元件,采用S型熱電偶測溫。                                   

                3)1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加熱元件(禁止長時間在800℃以下加熱),采用B型熱電偶測溫。                            

                2、根據樣品大小選擇坩堝→爐管管徑→管式爐

                A、坩堝選擇(嚴禁不用坩堝直接將樣品放入常規爐管)

                a.石英坩堝:≤1200℃使用石英管,熱處理溫度超過600℃時,請不要用氧化鋁坩堝。


                 

                b.氧化鋁坩堝:≤1800℃使用剛玉管,熱處理溫度超過900℃時,請不要用莫來石坩堝。



                 

                c.石墨坩堝≤ 2300℃



                例如:

                1.需要對粉末進行900℃熱處理,選擇石英坩堝裝載樣品。
                2.需要將合金在1600℃熔化,選擇氧化鋁坩堝。

                B、管徑的選擇

                1)選擇好坩堝后,根據坩堝裝載樣品后的體積選擇合適的爐管管徑(一般買爐子會標配有加熱爐管)。

                a.石英管 ≤1200℃?(真空環境下最高1000℃)

                例如:各種放樣品的情況   

                 

                b.剛玉管 ?≤1800℃? (剛玉管不建議真空環境下使用)


                 


                 C、諾巴迪管式爐管徑與坩堝尺寸估算表

                 

                3、根據溫區選擇管式爐(點擊此鏈接)

                4、根據功能選擇加熱爐

                   管式爐為基礎加熱系統,您可以根據不同的需求選擇成套科晶系統,如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二維材料生長系統等。

                例如:

                1)生長石墨烯/PECVD系統,整個系統包括加熱爐系統、射頻電源、供氣系統、真空系統、水冷系統、通風系統、氫氣報警系統。

                 

                 

                 

                  

                 

                 

                 實圖1 

                實圖2 

                 CVD系統

                (點擊圖片鏈接)

                PECVD系統

                (點擊圖片鏈接)   

                2)立式管式爐:加熱管垂直放置,以懸吊樣品的方式,為樣品提供淬火。
                 


                                                                                      (點擊圖片鏈接)

                3)RTP(快速熱處理加熱爐):可以對樣品進行快速加熱和快速冷卻。

                例如:

                a.NBD-HR1200-110IT快速退火爐,最快500℃/s升溫速度,紅外燈管加熱。

                b.快速加熱冷卻爐,加熱爐加熱到某一溫度后,滑至樣品所在區域,可以提高升溫速度,熱處理結束,將爐體移開,使樣品所在區域暴露在爐膛外快速冷卻。




                4)高溫高壓爐/真空爐:特殊設計的鎳鉻合金和不銹鋼爐管,對樣品進行高溫高壓和真空處理。

                5)旋轉管式爐:爐管旋轉式結構可以更均勻的熱處理粉末,同時也可以達到粉末均勻包覆的效果。

                 

                6)氫氣爐/氣氛爐:氫氣處理或其他危險氣體的實驗,請和銷售技術人員提前說明。不建議使用普通管式爐做危險實驗。

                 

                5、選擇合適的真空泵:本公司多種真空泵可選

                   

                6、定制爐:定制爐由于其特殊性請和銷售部直接溝通

                7、如果您還有不明白的地方,請您聯系我們 (點擊文字查看聯系方式)