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                    材料制備相關設備 當前位置:網站首頁 > 產品展示

                布里奇曼晶體生長爐

                發布時間:2021-08-18  瀏覽次數:643


                設備簡介:

                    適用于布里奇曼方法(坩堝下降法),在真空、保護氣氛或氧化氣氛下的晶體生長,可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意切換;長晶結束,報警提示,生成實驗報告并導出(包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)。





                 

                 

                 

                 

                 

                 


                配置詳

                 

                項目

                設備技術指標選擇

                加熱系統

                 

                晶體生長環境選擇

                氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態

                長晶溫區選擇

                單溫區200mm /300mm/400mm

                雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

                三溫:200+200+200mm

                反應腔尺寸選選擇

                Φ50/Φ60/Φ80/Φ100更多選擇聯系客服

                主控最高工作溫度

                1150/1650

                控溫精度

                300~1150±0.5

                主控爐膛材料

                高純多晶纖維復合耐火保溫層

                主控爐膛模式

                環形加熱整體密閉

                密封方式

                水冷不銹鋼密封法蘭

                提拉系統


                長晶模式選擇

                坩堝下降法 /坩堝平移法

                物料裝載模式

                上吊裝下推進模式/下裝載模式

                晶體運動方式選擇

                坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉

                結構

                雙層滑軌結構,C7大力距滾珠絲杠,SPY鋁托光軸直線導軌

                長晶進給系統

                伺服進給高精度運行平穩,大扭矩諧波減速進給速度30μm/hr~30000μm/hr可調,物料下推進運動模式,無旋轉

                裝料密封方式

                電動密封法蘭

                裝料密封電機

                57CM23閉環步進電機,平穩高速

                氣系統

                 

                流量計選擇

                1/2/3路質子子流量計100sccm  200sccm  ,500sccm            

                氣路管芯

                專用不銹鋼氣體管道(1/4"

                調節閥類型

                手動調節閥

                管道常態

                常閉

                測量精度

                ±1.0%F.S

                線性度

                ±0.5%F.S

                重復精度

                ±0.2%F.S

                壓力范圍

                -0.1-0.15 MPa

                響應時間

                2S

                工作環境溫度

                (1550)

                精度保證溫度

                (1535)

                真空系統


                真空類型選擇

                NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統

                真空計類型

                數字真空計/模擬真空計

                系統真空

                5pa  /2.8*10-3pa

                操控系統


                操控模式

                NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,10寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式;

                長晶工藝設置

                可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意調用;長晶結束,報警提示,并生成實驗報告導出,()包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)

                溫度校正

                主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統全程進行非線性修正(詢問客戶長晶溫度點,可做特別效驗)

                實現功能

                可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態生長的各類晶體(坩堝下降法)

                系統保護

                超溫報警,過流保護,斷偶提示

                隨機產品配置

                反應腔1 ,鎳鉻鋁吊絲5米 ,說明書1;隨機工具等。

                服務項目

                運輸保險費,包裝費,安裝及技術服務費; 提供12個月質保,觸控系統24個月,終身保修




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