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                1200℃CVD一體機

                發布時間:2021-04-20  瀏覽次數:602

                 

                設備簡介:

                NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進制造工藝,從美學藝術角度出發根據人體安全的角度設計,控制系統采用先進的PLC+觸摸屏操控系統,操作更加簡單方便。溫度控制采用先進的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

                          

                 

                 

                 

                 

                 

                 


                 

                1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀。

                2.配置浮子流量計或質量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。

                3.精確PID程序多段控制,實現不同工藝多段溫度時間監控。

                4.爐襯采用高純氧化鋁輕質纖維材料,保溫效果極佳。

                5.配備機械泵或分子真空泵,可以實現不同的真空條件。

                品型號

                NBD-CVDO1200

                爐管直徑

                Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

                工作溫度

                ≤1100

                溫區選擇

                單溫區

                雙溫區

                三溫區

                加熱區尺寸

                440mm

                200mm + 200mm

                200mm + 400mm + 200mm

                電器規格

                AC220V 4KW

                AC220V 5KW

                AC220V 8KW

                升溫速率

                建議 10/min

                控制系統

                 

                氣體系統(可選購)

                流量計類型

                浮子流量計

                質量流量計

                管道示意圖

                 

                 

                進氣接口數量

                2、3、4(多路可選)

                流量范圍

                20-250/20-800ml/min(多量程可選)

                50/100/200sccm(多量程可選)

                工作壓差范圍

                0-0.15MPa

                低真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-1.5C

                NBD-3C

                NBD-4C

                抽氣速率

                1L/s

                3L/s

                4L/s

                進排氣口尺寸

                Φ8mm寶塔接頭

                Φ8mm寶塔接頭

                KF16/25

                極限壓力

                1000Pa

                100Pa

                10Pa

                工作溫度

                5-40

                電氣規格

                AC220V

                高真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-103(A)

                NBD-103(B)

                NBD-103(C)

                抽氣速率

                110L/s

                600L/s

                700L/s

                真空測量計

                復合真空計

                極限壓力

                10^-3Pa

                10^-4Pa

                10^-5Pa

                工作溫度

                5-40

                電氣規格

                AC 220V

                AC 220V

                AC 380V

                * 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746



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