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    均溫氧化擴散爐

    發布時間:2020-08-26  瀏覽次數:2854

     

    設備簡介:

    均溫氧化擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規模集成電路制造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,可用于2-8英寸工藝尺寸

     

      

    配置詳情


     

    設備特點:

    1.溫場均勻,恒溫區長度及精度:300~1250mm  800~1200℃±1℃

    2.具有強大的軟件功能,NBD-101EP嵌入式操作系統,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件; 
    3.程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 
    4.具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇; 
    5.冷端檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 

    6.可存儲多組PID參數供系統運行調用功能,具有多點溫度補償
    7.氣體流量采用數字化精確控制,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能; 
    8.具有多種報警功能及安全保護功能;
    9.恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度; 
    10.壓力自動調整技術,將壓力參數引入晶體硅氧化工藝,有效減小了尾部排風對工藝的干擾,減小由排風引起的工藝波動

    可配工藝管外徑

    爐管外徑152mm   適用于3";爐管外徑252mm   適用于6";

    爐管外徑300mm   適用于8"

    溫度控制范圍

    300~1150 ℃

    恒溫區長度及精度

    300~1250mm(依客戶要求定)  300~800 ℃±1.5, 800~1100 ℃±1℃

    可控升降溫速率

    升溫速率:≦15/min  降溫速率≦5/min

    加熱區個數

    3區,4區,5區,6區(依客戶要求定

    送料方式

    手動送料

    冷卻系統

    水冷2-4Kgf/cm2,8L/min;+上接排風冷≈25m3/min;

    軸向溫場分布

     

    徑向溫場分布

     

    控制系統

     

    1.燒結工藝曲線設置:動態顯示設置曲線,設備燒結可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置;
    2.可預約燒結,實現無人值守燒結工藝曲線燒結;
    3.實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實現無紙記錄;
    4.具有實現遠程操控,實時觀測設備狀態;
    5.溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進行非線性修正

    加熱腔體

     


    采用優質加熱絲:KANTHAL及HRE

    絕熱材料:晶體纖維等

    絕緣子:高純剛玉,間距依據溫場調節

    端口過渡環:氧化鋁纖維真空成型。

    溫區:3段、4段、5段、6

     

    真空密封系統

    真空度:≤10Pa(機械泵)

    供氣系統

     

    采用質子流量計控制氣體流速,與設備集成為一體;

    可選配項目

    1. 出料口排毒氣柜;

    2. 凈化出料臺;

    3. 自動石英漿推拉舟機構

    設備使用注意事項

    1. 裝取樣片必須帶石棉手套,使用石英器件小心打碎;

    2. 選擇合適的石英舟,取出清潔好的石英托板和石英拉鉤;

    3. 安裝樣片插入到石英舟的槽內,用石英拉鉤將石英舟推入爐管到恒溫區;

    4. 爐管內壓力不得超過0.15MPa(絕對壓力),以防止壓力過大引起危險;

    5.高真空下使用時),設備使用溫度不得超過1000℃;

    服務支持

    一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和密封圈等)


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