<meter id="xbffx"></meter>

            <font id="xbffx"></font>
              <track id="xbffx"><noframes id="xbffx"><th id="xbffx"></th>

                <big id="xbffx"><progress id="xbffx"><progress id="xbffx"></progress></progress></big>

                    收藏本站    |   聯系我們    |  中文 / EN
                    CVD系統 當前位置:網站首頁 > 產品展示

                多溫區CVD系統

                發布時間:2020-07-01  瀏覽次數:1583

                 


                設備簡介:

                多溫區CVD系統一體爐,供氣和真空系統靈活組合,滿足各類薄膜沉積,在半導體工業中應用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環??茖W等領域。 

                  


                 

                 

                 

                 

                1.采用高純石英或不銹鋼材質爐管,耐腐蝕耐高溫性能優越;

                2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優越,降低設備功耗;

                3.爐體采用雙層風冷結構工藝,自動抬升系統開啟上蓋;

                4.NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,實時加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實驗報告自主生成,實驗數據無限次導出。

                5.一體化設備包含多路供氣系統,多溫區加熱系統和高真空系統;

                產品型號

                三溫區

                四溫區

                五溫區

                六溫區

                爐管尺寸

                ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm

                工作溫度

                ≤1150

                加熱區選擇

                (可定制)

                200mm*3

                200+300+200mm

                200+400+200mm

                300mm*3

                300+400+300mm

                200mm*4

                200+300+300+200mm

                200+400+400+200mm

                300mm*4

                300+400+400+300mm

                200mm*5

                300mm*5

                 

                200mm*6

                300mm*6

                 

                升溫速率

                20/min

                電氣規格

                AC380V 6~10KW

                AC380V 8~14KW

                AC380V 10~15KW

                AC380V 12~18KW

                氣體系統(可選購)

                浮子或質子

                管道示意圖

                 

                 

                進氣接口數量

                2、3、4(多路可選)

                流量范圍

                20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

                50/100/200/500sccm......(多量程可選)

                工作壓差范圍

                0-0.15MPa

                低真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-3C/NBD-4C

                抽氣速率

                3L/s4L/s

                進排氣口尺寸

                KF16/25

                系統真空

                3~5Pa真空泵極限真空6.2*10-2Pa

                工作環境溫度

                5-40

                電氣規格

                AC220V

                高真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-103(A)

                NBD-103(B)

                抽氣速率

                110L/s

                600L/s

                真空測量計

                復合真空計

                系統真空

                4.310^-3Pa

                6*10^-4Pa

                工作溫度

                5-40

                電氣規格

                AC 220V

                AC 380V

                * 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746


                免責聲明
                :本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。


                下一篇:小型CVD系統