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                    PECVD等離子體系統 當前位置:網站首頁 > 產品展示

                射頻獨立系統

                發布時間:2020-04-11  瀏覽次數:1931



                 

                 

                 


                     

                           

                  該射頻電源匹配器小巧、輕便,擁有空冷式設計。高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品使用壽命均得以提升,從而使您的投資和制程生產力得到有效的利用。一個直觀、快捷的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上切換,并顯示在一個128 x 64像素的液晶顯示屏上)帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓成本很低。此款設備配置13.56MHz的射頻輸出,可匹配普通型管式爐做等離子體增強型化學氣象沉積(PECVD)使用,是實驗室做PECVD鍍膜的理想選擇。

                基本參數

                名稱

                功率范圍

                工作頻率

                功率穩定度

                反射功率

                保護設置

                冷卻方式

                等離子體發生器

                0-500W連續可調

                13.56MHz

                ≤2W

                70W

                DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

                強制風冷

                * 此設備可與管式爐進行匹配定制


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