發布時間:2019-01-21 瀏覽次數:4074
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設備簡介: 為滿足各類CVD工藝的要求,我們將多個溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里,您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿足不同溫區梯度控制的同時,還可將多個溫區設定為同一溫度點,作為加長的單溫區使用。它延續了開啟式管式爐的經典設計,美觀與實用同在!
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配置詳情
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1. 雙層鋼結構; 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節約能源; 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命; 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。 |
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產品型號 |
NBD-O1200-50T2G |
NBD-O1200-60T2G |
NBD-O1200-80T2G |
NBD-O1200-100T2G |
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電氣規格 |
AC220V 2KW*2 |
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可達溫度極限 |
1200 ℃ (<1小時) |
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連續溫度 |
1100 ℃ (連續) |
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可達加熱速率 |
≤ 20 ℃/分鐘 |
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加熱區長度 |
200mm*2(雙溫雙控:每個溫區均可獨立運行) |
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爐管尺寸 |
Φ50*1000mm |
Φ60*1000mm |
Φ80*1000mm |
Φ100*1000mm |
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溫場分布 |
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如圖所示:此為該設備溫區曲線圖(恒溫區尺寸:100mm*2) |
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控制系統 |
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1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩; 2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷; 3.NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正; 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 |
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溫度精度 |
+/- 1 ℃ |
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加熱元件 |
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Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 |
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密封系統 |
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真空度:≤10Pa(機械泵) |
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CVD實驗原理 |
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采用雙溫區結構,通過對每個溫區單獨控制,可以營造不同的溫度梯度,便于各種CVD實驗。 |
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供氣系統 |
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采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。 |
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凈重 |
60KG |
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設備使用注意事項 |
1. 設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2. 設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞; 3. 真空下使用時,設備使用溫度不得超過800℃。
4. 供氣鋼瓶內部氣壓較高,向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5.當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態; 6.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實驗時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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服務支持 |
1年質保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) |
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