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                    CVD系統 當前位置:網站首頁 > 產品展示

                CVD系統O1200-XTID3F

                發布時間:2017-11-16  瀏覽次數:6797

                設備簡介:

                化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中應用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環??茖W等領域。



                             


                 

                 

                 



                配置詳情

                NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正;


                產品型號

                NBD-O1200-XTI(爐管直徑50、60、80、100mm可選)

                工作溫度

                ≤1150℃

                加熱區尺寸

                440mm

                升溫速率

                ≤20℃/min

                電氣規格

                AC 220V  4KW

                氣體系統(可選購)

                流量計類型

                浮子流量計

                質量流量計

                管道示意圖

                 

                 

                進氣接口數量

                2、3、4(多路可選)

                流量范圍

                20-250/20-800ml/min(多量程可選)

                50/100/200sccm(多量程可選)

                工作壓差范圍

                0-0.15MPa

                低真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-1.5C

                NBD-3C

                NBD-4C

                抽氣速率

                1L/s

                3L/s

                4L/s

                進排氣口尺寸

                Φ8mm寶塔接頭

                Φ8mm寶塔接頭

                KF16/25

                極限壓力

                1000Pa

                100Pa

                10Pa

                工作溫度

                5-40℃

                電氣規格

                AC220V

                高真空系統(可選購)

                真空泵型號

                NBD-103(A)

                NBD-103(B)

                NBD-103(C)

                抽氣速率

                110L/s

                600L/s

                700L/s

                真空測量計

                復合真空計

                極限壓力

                10^-3Pa

                10^-4Pa

                10^-5Pa

                工作溫度

                5-40℃

                電氣規格

                AC 220V

                AC 220V

                AC 380V

                * 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746


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